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晶体材料制备设备

采用电阻加热或感应加热方式,熔炼晶体原料,由籽晶法或物理气相传输法制备各种晶体。主要应用于半导体、LED、大功率器件制备等行业。

泡生法蓝宝石晶体生长炉

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导模法蓝宝石晶体生长炉

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导模法蓝宝石晶体生长炉
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碳化硅晶体生长炉

本设备要求采用感应加热方式,在惰性气体(氩气)环境下将石墨坩埚中的碳化硅粉末升华,沉积到碳化硅单晶仔晶上,即物理气相沉积法(PVT法)生长6″碳化硅单晶。

碳化硅晶体生长炉
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