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六十载真空行业深耕细作
二十年干泵领域砥砺前行

国内唯一一家能够研制生产出满足集成电路行业需求的干式真空泵制造企业,产品目前已在国内多家知名集成电路和光伏巨头企业通过工艺验证并批量使用。

集成电路领域重要设备的自主可控

打破了欧美及日韩企业对同类产品的长期垄断地位,实现集成电路产业核心零部件国产化“0”的突破,为全产业链国产化的贯通奠定了重要基础。

企业介绍

技术突破

公司针对干式真空泵小型化、低能耗、高转速、耐腐蚀、耐粉尘的需求特点进行研发攻关并取得技术突破,
现已实现在 12 英寸集成电路制造工艺的成熟使用,实现了产品较高程度的可靠性、稳定性、一致性。

产品优势

整机高可靠性

产品优势

稳定的运转性能

产品优势

高清洁度的真空环境

产品优势

自适应智能控制

产品优势

工艺安全性

产品系列

罗茨干式真空泵

针对集成电路的薄膜沉积、刻蚀、离子注入制程(约占主要工艺过程的 70%),研发三大系列干式真空泵产品。 

螺杆干式真空泵

涡旋干式真空泵

应用领域

APPLICATION AREA

干泵客服中心

SERVICE SUPPORT

沈阳科仪的干泵客服中心业务分为技术支持与售后服务两个板块,共同专注于提供客户各种解决方案以满足客户的技术与生产需求。
为了提供更优的服务体验我们在不断的努力。

产品优势

技术支持

技术支持组集结了平均行业经验大于10年的半导体
以及光伏行业的专家,
致力于针对不同工艺需求提供最优的真空解决方案。

产品优势

售后服务

售后服务组提供全方位的安装,调试,
日常维护保养,故障解决与跟踪服务。
我们同时提供人员驻场服务以及时有效的解决客户端问题,
以及全天候7*24小时的on call 服务以满足客户的产能需求。
售后电话:024-23826869 13889237273

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